Neodry15E日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵工作原理：

真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。

日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵產(chǎn)品詳細描述如下：

舊シリーズに比して、騒音値、軽量化が更に計られています。

*気密構(gòu)造を採用し、信頼性を向上しています。?

省エネ化を計りました。（舊シリーズに比して消費電力20%低減を?qū)g現(xiàn)。（NeoDry15E））?

項目 NeoDry 15E NeoDry 30E NeoDry 36E 備考?

Z大排気速度 (L/min) 250 500 600

到達圧力 (Pa) ≦1.0

Z大吸気口圧力 大気圧

接続口徑 吸気口 NW25 NW40

排気口 NW25

KASHIYAMA工業(yè)自1946年創(chuàng)建以來，持續(xù)不斷拓展業(yè)務(wù)以應(yīng)時代的需求，是秉著用戶至上的信念走過來的。特別

是在真空泵領(lǐng)域上，KASHIYAMA工業(yè)堅持不懈地研究,不斷地創(chuàng)造出xian進的高科技產(chǎn)品。

KASHIYAMA工業(yè)提供的真空泵及真空設(shè)備被應(yīng)用在廣泛的高科技領(lǐng)域當(dāng)中，其中包括半導(dǎo)體制造業(yè)和液晶顯示制

造行業(yè)，產(chǎn)品在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和xian進的高科技行業(yè)中已經(jīng)榮獲了J高的評價與信賴。尤其是來自于半導(dǎo)體制造行

業(yè)的信賴，這是KASHIYAMA工業(yè)多年長期以來不斷開發(fā)進取真空技術(shù)的結(jié)果。

KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設(shè)備。并在J高難度的制程

發(fā)揮上獲得了客戶的高度信賴與評價。除了干式真空泵以外，魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備在廣泛的領(lǐng)域當(dāng)中發(fā)揮

它的威力。

KASHIYAMA工業(yè)將本著致力于為顧客創(chuàng)造開發(fā)的精神，面對日趨復(fù)雜化的未來需求。

Neodry 15E日本樫山工業(yè)kashiyama真空泵特點

(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；

(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

結(jié)構(gòu)

（1） 泵總體結(jié)構(gòu)型式

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的進氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。

（2） 泵的傳動方式

真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側(cè)。