松下測(cè)量和測(cè)量系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)

高標(biāo)準(zhǔn)的三維測(cè)量機(jī)UA3P可以適應(yīng)許多領(lǐng)域。

超高精度測(cè)量（實(shí)現(xiàn)單納米可重復(fù)性）

使用接觸測(cè)量（旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的非球面和自由形式表面）的絕對(duì)形狀評(píng)估

復(fù)雜形狀的靈活的NC路徑

從測(cè)量數(shù)據(jù)（例如Zerinike Anallys）中實(shí)現(xiàn)各種分析

還可以評(píng)估表面和外部形狀之間的偏心率（例如，非球面，自由形式的表面，晶圓鏡片）

即使在復(fù)雜的形狀中也可以測(cè)量表面粗糙度

可以在沒(méi)有設(shè)計(jì)公式的情況下進(jìn)行測(cè)量和評(píng)估

使用CAD數(shù)據(jù)評(píng)估

通過(guò)自動(dòng)測(cè)量進(jìn)行工作水平和勞動(dòng)節(jié)省

松下測(cè)量和測(cè)量系統(tǒng)的功能

松下 Panasonic測(cè)量和測(cè)量系統(tǒng)協(xié)調(diào)測(cè)量技術(shù)

測(cè)量機(jī)的坐標(biāo)系由獨(dú)立于階段的三個(gè)參考平面（鏡子）組成，每個(gè)XYZ軸都使用激光干涉儀，使用頻率穩(wěn)定的HE-NE激光作為光源來(lái)測(cè)量0.3 nm的分辨率。這降低了舞臺(tái)的平方和直率的影響，從而實(shí)現(xiàn)了高精度的測(cè)量。

坐標(biāo)軸引起的測(cè)量誤差：在0.05μm內(nèi)（高達(dá)100毫米），在0.3μm以內(nèi)（高達(dá)500 mm）

協(xié)調(diào)測(cè)量技術(shù)

測(cè)量探針

通過(guò)超低測(cè)量力，可以對(duì)測(cè)量物體進(jìn)行高精度掃描測(cè)量。

手寫(xiě)筆由微型空氣滑塊持有，焦點(diǎn)激光器檢測(cè)出手寫(xiě)筆的運(yùn)動(dòng)，并根據(jù)測(cè)量對(duì)象的形狀遵循AFP的位置，以使測(cè)量力是恒定的。

測(cè)量力：0.15-0.30 MN（15-30 mgf） *UA3P-3100/4000為0.05-0.30 MN，UA3P-5000H為0.10-0.30 MN

手寫(xiě)筆：角度30度，r =2μm鉆石手寫(xiě)筆可以使用

測(cè)量探針

核心軟件技術(shù)

通過(guò)簡(jiǎn)單操作實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。它可以處理任何設(shè)計(jì)信息，并且可以通過(guò)以三維方式糾正測(cè)量對(duì)象的安裝錯(cuò)誤來(lái)進(jìn)行準(zhǔn)確的形狀測(cè)量。