Kashiyama 工業(yè)株式會社的干式真空泵具有以下特點：

運行可靠：采用特殊設計，旋葉和旋葉及旋葉與腔壁之間沒有任何摩擦，能保證設備長期穩(wěn)定工作。

維護成本低：在只抽取空氣和氮氣的情況下，只需六年維護一次，延長了設備的使用年限，降低了使用成本。

空間需求?。翰捎每绽涫椒绞?，不需要配置冷卻水，可節(jié)省空間。

水蒸氣處理能力強：采用氣鎮(zhèn)結(jié)構(gòu)，可以排出所吸取的水蒸氣，部分型號相較于前代產(chǎn)品有 10% 的水蒸氣排出性能提升（36G 除外）。

寬電壓范圍：電壓可在 100V 和 200V 之間自由切換，能適應不同的電力環(huán)境。

數(shù)據(jù)通信與控制功能：采用 IEC 電源連接器，可通過 RS485 接口進行數(shù)據(jù)通信和速度控制，方便用戶對設備進行監(jiān)控和管理。

符合相關標準：符合諧波標準，滿足數(shù)據(jù)諧波發(fā)射要求，具有良好的電磁兼容性。

無油無污染：采用無油干式技術(shù)，螺桿式 / 爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，適合對潔凈度要求高的敏感工藝，如晶圓加工。

耐腐蝕：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場合。

節(jié)能高效：采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較油封泵降低 30% - 50%，在保證性能的同時降低了能源消耗。

智能控制與監(jiān)控：具備實時參數(shù)顯示功能，真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出；還擁有自診斷系統(tǒng)，振動、溫度傳感器能預警異常，如過載或異物進入時會自動停機保護，確保設備安全運行。

低噪音、低振動：運行時噪音值低，振動小，不會對工作環(huán)境造成較大干擾，適用于對噪音和振動要求較高的場所，如實驗室、醫(yī)療設備等。

抽速范圍廣：抽速范圍為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達 0.1Pa（0.001mbar），可以滿足不同應用場景對抽氣速度和真空度的要求。

干式真空泵通過 機械部件的精密運動（如轉(zhuǎn)子、螺桿、爪式等）在泵腔內(nèi)形成容積變化，從而實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮和排出。與傳統(tǒng)油封式真空泵不同，其內(nèi)部無需潤滑油密封或冷卻，因此避免了油蒸氣對系統(tǒng)的污染，也省去了頻繁換油和處理廢油的維護工作。

二、核心類型及特點

根據(jù)結(jié)構(gòu)設計，干式真空泵主要分為以下幾類，各有技術(shù)優(yōu)勢：

1. 螺桿式干式真空泵

結(jié)構(gòu)：由一對相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子（陽螺桿、陰螺桿）組成，轉(zhuǎn)子表面通常涂覆耐腐蝕涂層（如陶瓷、特氟龍）。

特點：

抽速范圍廣（100 - 1500 m3/h），極限真空可達 0.1 Pa，適合大流量、高真空度需求（如半導體薄膜沉積）。

轉(zhuǎn)子無接觸，磨損小，壽命長，可處理含粉塵或腐蝕性氣體（如刻蝕工藝中的 Cl?、SF?）。

能耗較低，變頻驅(qū)動可根據(jù)負載調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速。

2. 爪式干式真空泵

結(jié)構(gòu)：由多個爪形轉(zhuǎn)子按一定相位排列，通過旋轉(zhuǎn)形成容積變化。

特點：

轉(zhuǎn)子間隙小，壓縮比高，極限真空可達 1 Pa，適合中等真空度場景（如光伏電池制造）。

運行時噪音低、振動小，適合實驗室或?qū)Νh(huán)境要求高的車間。

對水蒸氣和少量液體有一定耐受性（如氣鎮(zhèn)結(jié)構(gòu)可排出水蒸氣）。

3. 渦旋式干式真空泵

結(jié)構(gòu)：由一個固定渦旋盤和一個旋轉(zhuǎn)渦旋盤嵌套組成，通過偏心旋轉(zhuǎn)形成氣體壓縮腔。

Kashiyama工業(yè)株式會社的干式真空泵特點：

結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合空間有限的場景（如小型半導體設備）。

抽速相對較低（10 - 100 m3/h），極限真空約 10 Pa，常用于低真空度的氣體抽?。ㄈ缯婵瞻b、物料輸送）。

4. 活塞式干式真空泵

結(jié)構(gòu)：通過活塞在氣缸內(nèi)往復運動實現(xiàn)氣體壓縮，缸壁采用自潤滑材料（如石墨）。

抽速穩(wěn)定，適合處理不含顆粒的清潔氣體（如制藥行業(yè)的真空干燥）。

維護相對簡單，但轉(zhuǎn)速較低，極限真空約 100 Pa，應用場景較局限。